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綁定完成的硅成品靶材	使用完的硅靶

硅靶濺射過程中，容易開裂。我公司在多次實驗基礎上，提出了幾點改善措施：a、改善綁定模具，減少焊接過程中的氧化，嚴格控管焊接質量；b、在磁通量大的地方改變分割方式，減少內(nèi)應力的集中。