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靶材應(yīng)該如何保養(yǎng)?
一、靶材保養(yǎng)
為避免在濺射過程中因為不潔凈的腔體導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以較大功率密度進行濺射。
二、靶材儲存
我們建議用戶將靶材無論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中, 尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。對于金屬靶材的包裝，我們建議較少需要包裝在潔凈的塑料袋中。
三、靶材清潔
第一步用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔;
第二步與第一步類似用酒精清潔;
第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無絨布”進行清潔。
第四步用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會造成起弧的雜質(zhì)微粒。
四、短路及密封性檢查
靶材完成安裝后需要對整個陰極進行短路檢查及密封性檢查，建議通過使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象
五、包裝和運輸
所有靶材包裝在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。外包裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護靶材和背靶避免在運輸和儲存過程中發(fā)生損壞。
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